SF6, או גופרית hexafluoride, הוא גז נפוץ בשימוש בתחריט יבש, המשמש בעיקר לחריטת סיליקון בתהליך הייצור של מוליכים למחצה. לגז SF6 יש מבנה אוקטהדרלי, המורכב מאטום גופרית מרכזי המוקף בשישה אטומי פלואור. תכונותיו הלא קוטביות הופכות אותו לגז מבודד בציוד חשמלי במתח גבוה. התכונות הפיזיקליות של SF6 כוללות חסר צבע, חסר ריח, לא דליק, לא רעיל, מבודד, כבד יותר מאוויר, יכולת קירור, חוזק דיאלקטרי גבוה, יציבות תרמית ומסיסות ירודה במים אך מסיסים בממיסים אורגניים לא קוטביים.
מבחינת תכונות כימיות, SF6 כמעט ולא מגיב עם חומרים אחרים בטמפרטורת החדר, אך יתפרק תחת אור אולטרה סגול חזק.
SF6 מיוצר בדרך כלל על ידי התעשייה והתכולה שלו בטבע קטנה מאוד. משוואת התגובה לייצור SF6 היא:
2 CoF₃ + SF₄ + [Br₂] → SF₆ + 2 CoF₂ + [Br₂]
כאשר SF₄, COF₃ ו- BR₂ מעורבבים זה בזה ומחממים ב 100 מעלות, מתרחשת תגובה ביניהם. בתגובה זו, חלק מ- SF₄ ו- COF₃ מגיב לייצור SF₆ ו- COF₂. ברום אינו נצרך בתגובה, הוא משמש רק כזרז.
האם SF6 מסוכן?
למרות ש-SF6 אינו רעיל במצבו הטהור, הוא יעקור חמצן מהאוויר, וריכוז נפח גדול מ-19% באוויר יגרום לחנק. לכן, חשוב מאוד לאתר דליפות SF6 בזמן ולנקוט באמצעי מניעה מתאימים בתהליך ייצור המוליכים למחצה.
שימוש ב-SF6 בתעשיית המוליכים למחצה
SF6 נמצא בשימוש נרחב בייצור מוליכים למחצה. בתהליך תחריט הסיליקון, SF6 משמש כגז התחריט העיקרי, והוא עובד יחד עם הגזים הנדיפים שנוצרו SF4 ו- C4F8 כדי להשיג תחריט סיליקון עמוק. בנוסף, SF6 משמש לרוב לתחריט יבש של מתכות MO ו- W, ומגיב עם מתכות אלה כדי לייצר משושים נדיפים MOF₆ ו- WF₆. למרות ש- SF6 אינו הגז המועדף על תחריט אלומיניום, הוא יכול לשמש כגז עזר כדי לשפר את קצב התחריט של אלומיניום כאשר הוא מעורבב עם גזים כמו CL₂.
תחריט סיליקון
בשלב תחריט הסיליקון, נחרט רק הסיליקון בתחתית בו הוסר סרט הפסיבציה. גז SF6 מוצג, ו- SF6 מנותק בפלזמה ליצירת מגוון של מוצרי פירוק, כולל אטומי פלואור פעילים ביותר (F).
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
אטומי הפלואור שנוצרו מגיבים עם משטח הסיליקון ויוצרים סיליקון טטראפלואוריד (SiF4), תרכובת נדיפה שנפלטה בקלות מהתא.
Si+4F-->SIF4
תחריט שכבת פסיבציה תחתונה
בשלב זה נוצרת שכבת פסיבציה הן בדופן והן בתחתית. עם זאת, אנחנו רוצים לשמור רק את שכבת הפסיבציה על הדופן כדי להגן על הדופן מפני חריטה, אבל אנחנו צריכים להסיר את שכבת הפסיבציה בתחתית כדי לחרוט כלפי מטה. לכן, גז SF6 יוכנס בשלב זה כדי לתקוף את שכבת הפסיבציה בתחתית. אחרי ששכבת הפסיבציה בתחתית נעלמת, SF6 ממשיך לחרוט את הסיליקון, והמחזור חוזר על עצמו, כמו לולאה שלא נגמרת.
One-Stop Sf6 Sulphur Hexafluoride מפעל בסין
שלח אלינו את שאלתך לגבי גז הגופרית של Hexafluoride SF6!
אנו נספק גז ושירותי SF6 באיכות גבוהה כדי לענות על צרכי הרכישה שלך.
שלח כעת בירור
